Puolijohteiden erikoiskaasujärjestelmien puhtauden hallinta
Johdanto puolijohteiden erikoiskaasujärjestelmiin
Puolijohdevalmistusprosessit vaativat erittäin puhdasta, erittäin hallittavia ympäristöjä.
Erikoiskaasun toimitusjärjestelmillä on kriittinen rooli etsaus-, laskeutumis-, doping- ja puhdistusvaiheissa.
Kaasut, kuten silaani, ammoniakki, vetykloridi ja typpitrifluoridi, vaativat korkean puhtaan kuljetusreittiä.
Messinkivarusteita, vaikka ne eivät aina ole ensimmäinen valinta, sovelletaan joskus toissijaisissa viivoissa tai tukijärjestelmissä.
Ylläpitokemiallinen puhtaus ja rakenteellinen eheysmessinkivarusteiden välttämiseksi on välttämätöntä saastumisen välttämiseksi.
Materiaalin puhtauden merkitys puolijohdesovelluksissa
Puolijohteet ovat erittäin herkkiä molekyylitason epäpuhtauksille.
Jopa miljardin osan (PPB) saastuminen putkistosta tai varusteista voi johtaa satohäviöön tai laitteen vikaan.
Kaasuviivojen kaasun-, korroosio- tai pintareaktiot on valvottava tiukasti.
Tämä tekee materiaalin valinnan ja puhtaudenhallinnan keskeisen kaasujärjestelmän suunnitteluun.
Messinki, jolla on asianmukainen viimeistely ja laadunvalvonta, voi täyttää nämä standardit ei-kriittisissä kaasulinjoissa.
Messinki materiaali koostumus ja huolenaiheet
Tavallinen messinki on kuparin ja sinkin seos, joka sisältää joskus lyijyä tai tinaa.
Epäpuhtaudet, kuten rikki, fosfori- tai jäännösöljyt, voivat vaarantaa puhtaustasot.
High-Lead-messinkiä vältetään tiukasti puhdashuoneessa tai puolijohdesovelluksissa.
Vainmatalan johdonmukainen, dezincification-kestävä (DZR)Messinkiä tulisi harkita sellaisissa ympäristöissä.
Valmistajien on tarjottavamateriaalitodistuksetVahvistetaan Semi-, ASTM- tai ROHS -standardien noudattamisen.
Pinta- ja sähköpolttoainevaatimukset
Messinkivarusteiden sisäpinta vaikuttaa suuresti kaasujärjestelmän puhtauteen.
Karkeat tai huokoiset pinnat ansaitsevat kosteuden, hiilivedyt ja hiukkaset aiheuttaen pitkäaikaista saastumista.
Tämän torjumiseksi varusteet ovat useinelektroloidutsileän, passiivisen sisäpinnan saavuttamiseksi.
Kohteen pinnan karheus (RA) on tyypillisesti vähemmän kuin0.2 µmkaasunjakelujinjoille.
Polkupyörän jälkeiset varusteet läpikäyvätultrapiikkien liuottimetjota seuraa tyhjiökuivaus ja typen puhdistus.
Hiukkasten hallinta- ja puhdashuonepakkaus
Puolijohdekaasujärjestelmien messinkivarusteiden on täytettävä tiukathiukkasten määrät.
Mahdolliset löysät hiukkaset tai metallihiutaleet voivat olla tuhoisia kaasuherkille kiekoille.
Tämän ratkaisemiseksi varusteilla on voimakasultraäänipuhdistusDI Water- ja luokan 100 puhdashuoneiden standardien avulla.
Kun varusteet ovat puhdistettukaksinkertainenPuhdasluokan pakkauksissa uudelleenastiaalin estämiseksi.
Tunnisteet sisältävät usein erän jäljitettävyyttä, erätiedot ja kosteudenhallinnan indikaattorit.
Passivointi ja pinnoitteet kemiallisen stabiilisuuden suhteen
Koska messinki on reaktiivisempaa kuin ruostumattomasta teräksestä, pinnan passivointi on ratkaisevan tärkeää.
Passivointimenetelmät sisältävät kontrolloidun hapettumisen, kromittomat pinnoitteet tainikkelipinnoitus.
Nikkeli- tai elektrolitio -nikkelipinnoitteet toimivat estekerroksena sinkin huuhtoutumisen tai hapettumisen estämiseksi.
Tämä pinnoite lisää myös kemiallista yhteensopivuutta kaasujen, kuten HF: n tai CLF₃: n kanssa.
Säännöllinen pinnoitteen paksuustarkastukset ja tarttuvuustestaus varmistavat kestävyyden paineistetuissa järjestelmissä.
Tarkastus, sertifiointi ja jäljitettävyys
Suurten messinkivarusteiden on läpäistävämonitasoinen tarkastusennen integrointia kaasulinjoihin.
Testaus sisältää:
Helium vuototestaus (tyypillisesti<1x10⁻⁹ atm-cc/sec)
Jäännöskaasuanalyysi (RGA)
Mikrotasapaino hiukkasten leviämistestit
XRF tai ICP-MS materiaalin todentamiseksi
Jokaisen istuvuuden tulisi olla täysineränumeron jäljitettävissä, johon liittyyvaatimustenmukaisuustodistukset (COC).
Jotkut laitokset vaativat kolmansien osapuolien tarkastuksia tai ISO 14644 -sertifiointiasiakirjoja.
Sovellusrajat ja vaihtoehdot
Vaikka messinki voi täyttää puhtauskriteerit, sen käyttö onrajoitettu ei-kriittisiin polkuihinpuolijohdehuoneissa.
Erittäin korkean puhtauden (UHP) kaasulinjojen suhteen,316L ruostumatonta terästä videonauhurilla tai kiertoradallaon parempi.
Messinkiliittoja voidaan käyttää pakojärjestelmissä, puhdistuslinjoissa taiProsessi jäähdytysvesijärjestelmät.
Kun messinki on valittu oikein ja käsitelty asianmukaisesti, se tarjoaa kustannustehokkaan, vakaan ratkaisun.
Pinnoitus- ja puhdistustekniikan tulevaisuuden edistys voi laajentaa sen hyödyllisyyttä puolijohdesovelluksissa.
Johtopäätös
Puolijohteiden erikoiskaasujärjestelmien puhtaudenhallinta messinkiliittimissä on sekä monimutkainen että välttämätön.
Jokainen vaihe vaikuttaa kaasun laatuun materiaalin valinnasta pinnan viimeistelyyn ja pakkaamiseen.
Vaikka messinki ei ole ihanteellinen korkeapuhtaisiin sovelluksiin, edistyksellinen hoito ja laadunvalvonta voivat tehdä siitä elinkelpoisen tietyillä vyöhykkeillä.
Tiukalla tarkastuksella, passivoinnilla ja sertifioinnilla nämä varusteet voivat turvallisesti tukea seuraavan sukupolven sirujen valmistusympäristöjä.
Ota yhteyttä Ifaniin
Puhelin:+86 15088288323
Sähköposti:sales24-ifan@ifangroup.com
